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海德漢HEIDENHAIN光柵尺LIDA 479/489資料下載

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提 供 商: 上海方未機(jī)械設(shè)備有限公司 資料大小:
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 海德漢HEIDENHAIN光柵尺LIDA 479/489資料下載
敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對測量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超高精度機(jī)床
高精度機(jī)床
測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
直驅(qū)電機(jī)

Linear scale

LIDA 409

Measuring standard

Coefficient of linear expansion

Steel scale tape with METALLUR scale grating; grating period 20 µm

αtherm ? 10 · 10–6 K–1

Accuracy grade*

±3 µm, ±15 µm1)

Baseline error

 ±0.750 µm/50 mm (typical)

Measuring length ML* in mm

70 120 170 220 270 320 370
420 520 620 720 820 920 1020

Scale tape from the roll: 2 m,4 m, 6 m

Reference marks

One at midpoint of measuring length

Every 50 mm

Mass

31 g/m

 

 

 

 

 

 

Scanning head

LIDA 48

LIDA 47

Interface

  1 VPP

TTL

Integrated interpolation*

Signal period

20 µm

5-fold

4 µm

10-fold

2 µm

50-fold

0.4 µm

100-fold

0.2 µm

Cutoff frequency –3 dB

 500 kHz

Scanning frequency*

 400 kHz

 200 kHz

≤ 100 kHz

 50 kHz

 200 kHz

≤ 100 kHz

 50 kHz

 25 kHz

 50 kHz

 25 kHz

≤ 12.5 kHz

≤ 25 kHz

≤ 12.5 kHz

 6.25 kHz

Edge separation a2)

 0.100 µs

 0.220 µs

 0.465 µs

 0.950 µs

 0.100 µs

 0.220 µs

 0.465 µs

 0.950 µs

 0.080 µs

 0.175 µs

 0.370 µs

 0.080 µs

 0.175 µs

 0.370 µs

Traversing speed2)

 600 m/min

 480 m/min

 240 m/min

 120 m/min

 60 m/min

 240 m/min

 120 m/min

 60 m/min

 30 m/min

 60 m/min

 30 m/min

 15 m/min

 30 m/min

 15 m/min

 7.5 m/min

Interpolation error

±45 nm

Limit switches

L1/L2 with two different magnets; output signals: TTL (without line driver)

Electrical connection

Cable, 0.5 m, 1 m or 3 m with D-sub connector (male) 15-pin

Cable length

See interface description, however limit:  20 m (with HEIDENHAIN cable)

Voltage supply

DC 5 V ±0.5 V

Current consumption

< 130 mA

< 150 mA (without load)

Vibration 55 Hz to 2000 Hz

Shock 6 ms

 500 m/s2 (EN 60 068-2-6)

≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

Operating temperature

–10 °C to 70 °C

Mass Scanning head

Connecting cable

Connector

20 g (without cable)

22 g/m

32 g

* Please select when ordering

1) ±5 µm after linear length-error compensation in the evaluation electronics

2) At a corresponding cutoff or scanning frequency

絕對式編碼器
系列 說明
LIC LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動進(jìn)行絕對位置測量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。
輸出位置值的編碼器
 
系列 說明
LIP 200 LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號在讀數(shù)頭中被高倍頻細(xì)分且其計(jì)數(shù)功能將細(xì)分的信號轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣,借助參考點(diǎn)確定絕對原點(diǎn)。
增量式編碼器
 
系列 說明
LIP
超高精度
LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測量步距,*的精度和重復(fù)精度。掃描方式為干涉掃描,測量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。
LIF
高精度
LIF敞開式直線光柵尺的測量基準(zhǔn)是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵,采用干涉掃描方法。特點(diǎn)是精度高和重復(fù)精度高,安裝特別簡單,有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中(參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”)。
LIDA
高速運(yùn)動和大測量長度
LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運(yùn)動速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動應(yīng)用,支持多種安裝方式,安裝特別簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。
PP
二維坐標(biāo)測量
PP二維編碼器的測量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵,采用干涉掃描方法。用于測量平面中位置。
LIP/LIF
高真空和超高真空技術(shù)
我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息,參見“真空中應(yīng)用的直線光柵尺”產(chǎn)品信息。
以下敞開式直線光柵尺專用于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。
• 高真空:LIP 481 V和LIF 481 V 
• 超高真空:LIP 481 U
海德漢敞開式直線光柵尺的全新信號處理ASIC芯片
 
海德漢敞開式直線光柵尺是*精度定位或高準(zhǔn)確性運(yùn)動的理想選擇。為確保光柵尺在整個生命周期中都滿足高精度要求,海德漢最新開發(fā)了全新ASIC信號處理芯片:HSP 1.0。

海德漢HEIDENHAIN光柵尺LIDA 479/489資料下載

 

 
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